三氯氢硅（HSiCl3）是一种用途非常广泛的有机硅单体，主要用于生产半导体硅、单晶硅和多晶硅的原料，亦是合成有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷最基本的单体。

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